電子工業潔凈室設計施工
電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。
潔凈室(區)設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。
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電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。
潔凈室(區)設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(空態、靜態、動態)應與業主協商確定。
潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等,也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。
電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。
潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,宜采用微環境等型式。
潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。
工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員入口、物料入口和設備出入口,并應在各自的入口處設置相應的凈化設施。
潔凈廠房 單人空氣吹淋室,應按更大班人數每30人設一臺。潔凈室(區)工作人員超過5人時,空氣吹淋室一側應設單向旁通門;空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟,應采取連鎖控制措施;
人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級,宜由外至內逐步潔凈,室內可送入經過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區)的空氣潔凈度等級;當設有潔凈工作服洗滌室時,洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。
物料凈化用室與潔凈室(區)之間應設置氣閘室或傳遞窗。
用于電子產品生產的潔凈室(區)的墻板和頂棚,宜采用輕質壁板構造。
潔凈廠房內各潔凈室(區)的空氣潔凈度等級,應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。
潔凈室(區)與周圍的空間應保持一定的靜壓差,
潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。
凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調系統,
潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求,經技術經濟比較,采用運行經濟、節約能源的送風方式。
多套凈化空調系統同時運行或較大型電子工業潔凈廠房的凈化空調系統的新風,應集中處理。
空氣過濾器應根據空氣潔凈度等級選用;
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